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在真空腔體內表面鍍一層吸附材料真空度是否能更好

更新時間:2026-02-27 點擊量:59

可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵,就是通過鈦棒蒸發新鮮鈦到腔壁上來實現真空吸附。
現代同步輻射的直線管道則基本采用內壁濺射NEGNon-Evaporable Getter)材料來實現超高真空,同時減少電子打到腔壁引起二次電子,避免污染光學元件。NEG是目前比較流行的技術,主要是鋯鐵釩合金材料,不需要蒸發,通過真空中加熱激活,把表面吸附的氣體轉移到體內(氫氣除外)來多次重復獲得新鮮的表面,實現真空吸附。


可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵,就是通過鈦棒蒸發新鮮鈦到腔壁上來實現真空吸附。
現代同步輻射的直線管道則基本采用內壁濺射NEGNon-Evaporable Getter)材料來實現超高真空,同時減少電子打到腔壁引起二次電子,避免污染光學元件。NEG是目前比較流行的技術,主要是鋯鐵釩合金材料,不需要蒸發,通過真空中加熱激活,把表面吸附的氣體轉移到體內(氫氣除外)來多次重復獲得新鮮的表面,實現真空吸附。

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