一、常用的金屬材質
不銹鋼 304，316，316L，316 LN
*常見的材質，600℃以下的結構件，加工簡單，成本可控。
無氧銅，鈹青銅，磷青銅
無氧銅一般用于低溫導熱或者墊片等材質，可以從極低溫一直工作到500℃左右，但是在高溫區就不適宜再作為結構件，因為強度大大降低。
鈹青銅和磷青銅的特點是硬度很大，同時很耐磨，因此可以作為真空內部的軸承或者耐磨件使用。
鈹青銅因為其彈性特點，還被用于很多彈片和插針的制造。
鉭，鉬，鎢，鈦
這些都是耐高溫金屬，按照耐高溫程度，由低到高的排列是鈦，鉬，鉭，鎢
按照加工難易度來說，鎢的硬度和難度*高，鉬的加工件相對偏脆，鉭的加工和不銹鋼類似，鈦在加工過程中隨著溫度的升高會出現粘刀的現象。
按照耐腐蝕程度來說，鈦在表面會形成致密的保護層，可以用于高溫氧化的環境。
而鉬在氧氣的情況下在500℃以上會形成氧化鉬，二氧化鉬在高溫下會生化，這個就會造成鉬材質的原件在高溫氧化環境下會不斷腐蝕。
二、常用的非金屬材料
氧化鋁陶瓷
氧化鋁陶瓷因為加工簡單，特別是批量加工成本較低，所以被大量的用在真空環境中，一般用作絕緣墊片或者高溫的隔熱材料等等。
聚四氟
聚四氟的性狀很穩定，而且具有自潤滑的特點，因此在真空內部常被用做潤滑組件和絕緣組件，聚四氟的*高使用溫度可以達到200℃左右，因此可以滿足超高真空的烘烤要求。
PEEK
聚醚醚酮(PEEK)樹脂是一種性能優異的特種工程塑料，與其他特種工程塑料相比具有更多顯著優勢，耐正高溫260度、機械性能優異、自潤滑性好、耐化學品腐蝕、阻燃、耐剝離性、耐磨性、不耐強硝酸、濃硫酸、抗輻射、*強的機械性能可用于*端的機械、核工程和航空等科技。
相對聚四氟，PEEK可以通過摻雜改性得到很多種不同性質的子類材料，例如耐摩擦，耐腐蝕，隔熱等等。
